Buglaşma örtügi: Belli bir maddany gyzdyryp, gaty ýere goýmak üçin bugarmak örtügi diýilýär.Bu usul ilkinji gezek M. Faradaý tarapyndan 1857-nji ýylda teklip edilipdi we ol usullaryň birine öwrüldi
häzirki döwürde köplenç ulanylýan örtük usullary.Buglanýan örtük enjamlarynyň gurluşy 1-nji suratda görkezilýär.
Metallar, birleşmeler we ş.m. ýaly bugarýan maddalar çüýremek ýa-da bugarmagyň çeşmesi hökmünde gyzgyn simde asylýar we metal, keramika, plastmassa we beýleki substratlar ýaly örtülen iş bölegi öň tarapynda goýulýar. wajyp.Ulgam ýokary vakuuma ewakuasiýa edilenden soň, mazmuny bugarmak üçin iň möhümi gyzdyrylýar.Buglanan maddanyň atomlary ýa-da molekulalary substratyň üstünde kondensirlenen görnüşde saklanýar.Filmiň galyňlygy ýüzlerçe angstromdan birnäçe mikrona çenli bolup biler.Filmiň galyňlygy bugarmak çeşmesi we bugarmak çeşmesiniň wagty (ýa-da ýüklenýän mukdar) bilen kesgitlenýär we çeşme bilen substratyň arasyndaky aralyk bilen baglanyşyklydyr.Uly meýdan örtükleri üçin filmiň galyňlygynyň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin köplenç aýlanýan substrat ýa-da köp bugarmak çeşmeleri ulanylýar.Bug bug çeşmesinden substrata çenli aralyk bug molekulalarynyň galyndy gaz molekulalary bilen çaknyşmagynyň himiki täsir etmeginiň öňüni almak üçin galyndy gazdaky bug molekulalarynyň ortaça erkin ýolundan az bolmalydyr.Bug molekulalarynyň ortaça kinetiki energiýasy takmynan 0,1 - 0,2 elektron wolt.
Buglanma çeşmeleriniň üç görnüşi bar.
Es Çydamly ýyladyş çeşmesi: Gäminiň folga ýa-da süzgüç ýasamak üçin wolfram we tantal ýaly çydamly metallary ulanyň we bugarýan maddany ýokarsynda ýa-da iň möhüm ýerinde gyzdyrmak üçin elektrik toguny ulanyň (1-nji surat çeşme esasan Cd, Pb, Ag, Al, Cu, Cr, Au, Ni ýaly materiallary bugarmak üçin ulanylýar;
IghHokary ýygylykly induksiýa ýyladyş çeşmesi: möhüm we bugarýan materialy gyzdyrmak üçin ýokary ýygylykly induksiýa tokyny ulanyň;
Elektron şöhlelerini ýylatmak çeşmesi: ulanylýar Bugarmagyň has ýokary temperaturasy bolan materiallar üçin (2000-den pes däl (618-1)), material elektron şöhleleri bilen bombalanyp buglanýar.
Wakuum örtüginiň beýleki usullary bilen deňeşdirilende, bugarýan örtük has ýokary çökdürme derejesine eýe bolup, başlangyç we termiki taýdan çüýremedik goşma filmler bilen örtülip bilner.
Purokary arassa ýekeje kristal filmi goýmak üçin molekulýar şöhle epitaksiýasy ulanylyp bilner.Dopirlenen GaAlAs ýekeje kristal gatlagyny ösdürmek üçin molekulýar şöhle epitaks enjamy 2-nji suratda görkezilýär [Molekulýar şöhle epitaks enjamynyň wakuum örtüginiň shemasy].Reaktiw peç molekulýar şöhle çeşmesi bilen enjamlaşdyrylandyr.Ultra ýokary vakuum astynda belli bir temperaturada gyzdyrylanda, peçdäki elementler şöhle ýaly molekulýar akymda substrata çykarylýar.Substrat belli bir temperaturada gyzdyrylýar, substratda goýlan molekulalar göçüp bilýär we kristallar substrat kristal panjarasynyň tertibi boýunça ösdürilýär.Molekulýar şöhle epitaksiýasy ulanylyp bilner
zerur stoiometrik gatnaşygy bolan ýokary arassalykly birleşýän ýekeje kristal film alyň.Film iň haýal ösýär Tizligi 1 bir gatlakda / sekuntda dolandyryp bolýar.Baglanyşyga gözegçilik etmek bilen, zerur kompozisiýa we gurluşy bolan ýekeje kristal film takyk edilip bilner.Molekulýar şöhle epitaksiýasy dürli optiki integral enjamlary we dürli ajaýyp gurluş gurluş filmlerini öndürmek üçin giňden ulanylýar.
Iş wagty: Iýul-31-2021