Tüýdük örtügi energyokary energiýa bölejikleri gaty üstüni bombalanda, gaty üstündäki bölejikler energiýa gazanyp, substratda goýuljak ýerden gaçyp biler.Düwürtik hadysasy 1870-nji ýylda örtük tehnologiýasynda ulanylyp başlandy we depozit derejesiniň ýokarlanmagy sebäpli 1930-njy ýyldan soň kem-kemden senagat önümçiliginde ulanyldy.Köplenç ulanylýan iki polýus tüýdük enjamlary 3-nji suratda görkezilýär [Iki vakuum örtük polýusynyň dökülmeginiň shemasy].Adatça goýuljak material, katoda berkidilen tabakdan ýasalýar.Substrat nyşandan birnäçe santimetr uzaklykda, nyşanyň ýüzüne seredýän anodda ýerleşdirilýär.Ulgam ýokary vakuuma geçirilenden soň, 10 ~ 1 Pa gaz (köplenç argon) bilen doldurylýar we katod bilen anodyň arasynda birnäçe müň wolt naprýa .eniýesi ulanylýar we iki elektrodyň arasynda ýalpyldawuk akym bolýar. .Zyňyndydan emele gelen polo positiveitel ionlar, elektrik meýdanynyň täsiri astynda katoda uçýar we nyşanyň üstündäki atomlar bilen çaknyşýar.Çaknyşyk sebäpli nyşanyň üstünden gaçýan maksat atomlaryna tüýdük atomlary diýilýär we energiýasy 1-den onlarça elektron wolt aralygynda.Dökülen atomlar film döretmek üçin substratyň üstünde goýulýar.Buglanmak örtüginden tapawutlylykda, tüýdük örtügi film materialynyň ereýän nokady bilen çäklenmeýär we W, Ta, C, Mo, WC, TiC we ş.m. ýaly refrakter maddalary döküp bilýär. usuly, ýagny reaktiw gaz (O, N, HS, CH we ş.m.)
Ar gazyna goşuldy we reaktiw gaz we ionlary maksatly atom ýa-da dökülen atom bilen reaksiýa döredip, birleşme (oksid, azot) birleşmeleri we ş.m.) emele getirýär we substratda goýulýar.Izolýasiýa filmini goýmak üçin ýokary ýygylykly tüýkürmek usuly ulanylyp bilner.Substrat toprakly elektroda, izolýasiýa nyşany bolsa ters elektroda oturdylýar.Frequokary ýygylykly elektrik üpjünçiliginiň bir ujy toprakly, bir ujy bolsa gabat gelýän tor we DC bloklaýjy kondensator arkaly izolýasiýa nyşany bilen enjamlaşdyrylan elektroda birikdirilýär.Frequokary ýygylykly elektrik üpjünçiligini açanyňyzdan soň, ýokary ýygylykly naprýa .eniýe polýarlygyny yzygiderli üýtgedýär.Plazmadaky elektronlar we polo positiveitel ionlar degişlilikde polo positiveitel ýarym aýlawda we naprýatageeniýediň otrisatel ýarym aýlawynda izolýasiýa nyşanyna degýär.Elektronyň hereketi polo positiveitel ionlardan has ýokary bolany üçin, izolýasiýa nyşanynyň ýüzüne negatiw zarýad berilýär.Dinamiki deňagramlylyk gazanylanda, maksat negatiw ikitaraplaýyn potensiala eýe bolup, nyşana dökülýän polo positiveitel ionlar dowam eder.Magnitron tüýdüginiň ulanylmagy, magnit däl tüýdük bilen deňeşdirilende ululyk tertibi bilen çökdüriliş tizligini ýokarlandyryp biler.
Iş wagty: Iýul-31-2021