Katodiki ýaý, titanium nitridi, sirkonium nitridi ýa-da kümüş ýaly materiallary bugarmak üçin ýaýyň akymyny ulanýan PVD usulydyr.Buglanan material wakuum kamerasyndaky bölekleri örtýär.
Wakuum örtükleriniň görnüşleri - Atom gatlagy
Atom gatlagynyň goýulmagy (ALD) kremniniň örtükleri we çylşyrymly ölçegli lukmançylyk enjamlary üçin amatlydyr.Otagda bar bolan himiki maddalary çalşyp, örtügiň himiýasy we galyňlygy atom takyklygy bilen dolandyrylyp bilner.Bu, hatda gaty çylşyrymly ölçegli bölekler üçinem iň doly örtük görnüşleriniň birini hödürleýändigini aňladýar.
Iş wagty: Iýun-01-2022